ES62X-CPW 晶圆级TLP测试SOLZ 校准板

EM601-6 IC带状线TEM小室

特点: 基板质量高，适用于 TLP/VF-TLP系统晶圆级校准探针间距范围：40 µm (或 180 µm) 至 3 mm 12种高精度电阻，阻值分别为： 0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 18, 49.9, 100, 180 和499 Ω，适用于TLP电流测量通道校准 6种参考齐纳二极管，击穿电压分别为：2.4, 5.1, 10, 18, 33, 和110 V，适用于电压测量通道校准 2种瞬态电压抑制器 (TVS)，作为 TLP/VF-TLP 系统校准后的测量参考 84个开路，84个短路测试结构

选项：
测试探针间距：30μm / 150μm
SKU： CN-ES62X-CKW
分类：探针台测试方案, 脉冲IV曲线测试方案
标签： DC测量, TLP测试, 探针台, 静电放电

产品简介

1.说明

TLP测试的部分误差是由探针的接触电阻、连接损耗和不匹配，衰减器衰减倍数不精准，示波器直流偏置以及量程误差导致的。这些误差可以通过短路-开路-负载-稳压（Short-Open-Load-Zener, SOLZ）校准来降低 (参考 ESDA TR5.5-02-08 Transmission Line Pulse Round Robin)。根据需要测量的被测器件（device under test, DUT）特性，以及需要测量的电压、电流范围，可适当选择ES62X-CPW校准板上不同数值的参考器件进行校准。
测试板的基板材质为FR4, 顶层镀金。测试板的探测间距为30 µm 或 150 µm (取决于模块) ，可匹配探针间距为40 µm 至 3 mm。基板尺寸为30 mm x 30 mm。校准件总高度为2.5 mm（包括参考器件的高度）。基片放置在保护壳内。该校准板有规格说明书。

2.规格

参数	ES62X-CKW-1		ES62X-CKW-2	单位	备注
电阻阻值	0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 18, 49.9, 100, 180, 499			Ω	1 % 误差 (共12个)
齐纳二极管击穿电压	2.4, 5.1, 10, 18, 50, 110			V
TVS #1反向击穿电压	6			V	精确值见校准板
TVS #1最大TLP注入电流	>40			A	TLP测试脉宽为100 ns
TVS #2反向击穿电压	7.5 ± 1			V	精确值见校准板
TVS #2最大TLP注入电流	>100			A
金属表面处理	镀金			NA
测试衬垫间距	150 (± 25)	30 (±5)		µm