ES62X-SSM 系统开关模块

ES62x-SSM (ES62X-LTKSEM、A621-LTKSEM)系统开关模块用于TLP脉冲IV曲线测试与DC特性测试的自动切换。当开关处于常闭状态时，TLP脉冲注入到DUT端，IV曲线测试系统采集DUT的脉冲IV曲线，同时，电压测量分压探头连接至示波器，获取DUT端的电压波形。当开关处于常开状态时，DUT连接至源测量单元（Source Measurement Unit, SMU)，电压分压探头处于开路状态，因此不提供SMU测量时的任何其他回路路径。ES62x-SSM自身的摩擦带电量很低，因此适用于极敏感低压（几伏甚至更低）器件，例如高端CMOS或MMIC工艺技术。 特性
为高性能VF-TLP/TLP/HMM 系统设计
低摩擦带电 (几伏甚至更低 )
DC-18 GHz 带宽
2个同步切换的SPDT通道
6个SMA接口
LED开关切换指示
可用于高达3 kV/118 A 1000 ns TLP系统
高可靠性开关寿命超过 1百万次
分类： 脉冲IV曲线测试方案
标签： DC测量, ESD测试, TLP测试